בתהליך PECVD (Plasma-to-Chemical Vapor Deposition), כל חיבור חשמלי, החל משידור הספק RF ועד בקרת גז התהליך, משפיע ישירות על אחידות שקיעת שכבה דקה ועל תפוקת השבב. התמודדות עם הסביבה הקשה של ציוד ממוזער, ואקום גבוה והפרעות אלקטרומגנטיות חזקות,וואגומחברי picoMAX®, עם שלושת יתרונותיהם המרכזיים של "קומפקטיות, אמינות ויעילות", הפכו לפתרון החיבור האידיאלי עבור מערכות PECVD.
עיצוב קומפקטי חדשני
התאמה לתבניות תאים מדויקות
המרחב הפנימי של ציוד PECVD מוגבל, ודורש סידור צפוף של קווי חשמל, אות וחישה סביב תא התגובה. picoMAX® משתמש בעיצוב בעל קפיץ יחיד ופעולה כפולה, עם מרווחי פינים מרובים של 3.5/5.0/7.5 מ"מ זמינים. לאחר החיבור, הוא תופס 30% פחות מקום ממוצרים קודמים, ומתאים את עצמו בצורה מושלמת לדרישות החיווט סביב התא. מחבר החור שלו מוטמע כמעט לחלוטין בכותרת הפין, תומך בהרכבה זה לצד זה ללא אובדן קטבים, משפר משמעותית את ניצול לוח המעגלים ומאפשר סידור מסודר של קווי אות וחשמל מבלי להפריע לשדה זרימת גז התהליך.
הגנה חזקה מפני תנאי הפעלה קיצוניים
תהליכי PECVD כוללים סביבות של ואקום גבוה, פלזמה בתדירות גבוהה ורעידות, מה שמציב דרישות מחמירות לאמינות המחברים. ל-picoMAX® מבנה יציב עם עמידות לרעידות של עד 12 גרם, המונעת התרופפות חיבורים הנגרמת מרעידות בתדירות גבוהה. הוא משלב גם עיצוב נגד הכנסה שגויה והתקן נעילה, המבטלים שגיאות התקנה ומונע ניתוק מקרי, ומבטיחים פעולה רציפה של הציוד ללא זמן השבתה.
חיבור מהיר ללא כלים
picoMAX® כולל טכנולוגיית חיבור מהיר ללא כלים, המאפשרת חיבורי "חבר והחזק" עבור חוטים חד-גדיליים ורב-גדיליים כאחד עם מחברים בכבישה קרה. חיבורי חיווט מורכבים מושלמים בשלב אחד, משפרים משמעותית את יעילות ההרכבה ומקצרים את מחזורי ניפוי השגיאות. העיצוב המודולרי תואם לתהליכי הלחמת Reflow, ועונה על צרכי הפחתת העלויות של ייצור אוטומטי. הוא מכסה גם את כל תרחישי החיבור של PECVD: פסיעה של פינים של 3.5 מ"מ מתאימה לחוטי אות של 0.2-1.5 מ"מ², בעוד שפסיעה של פינים של 5.0/7.5 מ"מ תומכת בקווי חשמל של 16A. הוא תומך בשיטות התקנה מחוט ללוח ובדרך קיר, תואם לחיווט בארון בקרה וחלל, ועומד בתקני הבטיחות החשמלית GB/T 5226.1, ובונה הגנה איתנה ליציבות התהליך.
בתעשיית המוליכים למחצה, שבה דיוק תהליך ברמת ננומטרי הוא בעל חשיבות עליונה, חיבורים אמינים הם ערובה לתפוקה גבוהה.וואגוpicoMAX®, עם תפיסת עיצוב המוצר המהפכנית שלה, משיגה "גודל קטן, ביצועים גבוהים" בתוך גודל קומפקטי, ומספקת פתרונות חיבור יציבים, יעילים ועמידים לאורך זמן עבור ציוד PECVD. זה עוזר ליצרני מוליכים למחצה להתגבר על האתגרים של חיבורי תהליך מדויקים, תוך שמירה על הדיוק ברמת המיקרומטר של כל שבב.
זמן פרסום: 13 במרץ 2026